年5月30日上午,中国科协召开年全国科技工作者日座谈会,北京航空航天大学研究生院常务副院长赵巍胜说:依赖进口科学仪器就是空中建楼阁,他特别提出大力推进科学仪器自主可控,实现科技自立自强的建议。赵巍胜副院长倡议:把国产设备使用率作为申请国家项目的一个核心申请指标。因为,今天我们依赖进口设备其实就是在空中建楼阁,随时都可能坍塌。他建议,以全社会力量推进国产科研仪器的使用。
赵巍胜指出,要明确创新争先路径,加强基础研究,实现原始创新突破;大力推进科学仪器自主可控,实现科技自立自强;加强国际合作,与国际科技友军互惠互赢。
为此实验猫将分多期推荐“重大科研基础设施和大型科研仪器国家网络管理平台”中高端国产仪器,本期介绍国产SEM钨灯丝扫描电子显微镜:
技术指标:
预对中型发叉式钨灯丝电子枪
二次电子像≤3.0nm
30kV1kV~30kV
1x~x
≤5min
≤2min
五轴样品台行程:
X=mm;Y=mm;Z=65mm;R:°连续;T:-10°~﹢75°
三轴样品台行程:X=mm;Y=mm;Z=60mm;
最大载入样品:直径mm,高73mm
产品介绍:
扫描电子显微镜(ScanningelectronmicroscopeSEM)是一种利用聚焦的高能电子束来扫描样品,通过光束与物质间的相互作用来激发各种物理信息,对这些信息收集、放大、再成像以达到对物质微观形貌表征的科学仪器。作为一种先进的微观形貌表征方法和测量手段,可以对各种材料进行多种形式的形貌观察,也可配备X射线能谱仪(EDS)实现成分定量定性分析,从而能够帮助人们更好地获得材料微结构信息。得到的图像具有直观、丰富、立体感强的优点。可广泛应用于医学、生物、农业、材料科学、冶金、化学、制药、半导体、电子器件和公安等领域。
目前国际上电镜市场形成美国、日本、德国三足鼎立的局面。其中以日本日立(Hitachi)、日本电子公司(JOEL)、美国赛默飞以及德国蔡司(CarlZeissAG)公司表现最为突出。国内的电镜需求主要以进口为主,但国内做扫描电镜的公司屈指可数。随着我国对重大科学仪器国产化替代的重视程度不断提升,各项推动科学仪器国产化替代的政策层出不穷,也正是国产化替代的好时机。
国仪量子(合肥)技术有限公司扫描电镜技术已有10余年的历史,研发力量雄厚,在国内也以积累了一些重要客户。年被评为“潜在独角兽”企业,正处于快速发展期,品牌竞争力逐渐提升,国内影响力逐步提高。
国仪量子自主研发的SEM钨灯丝扫描电子显微镜的创新点是:超大样品仓,可容纳直径:mm,高73mm的样品;采取多维度的防碰撞方案,可有效减少碰撞损伤;灯丝状态具有自动监测功能,自动检测灯丝使用时间以及灯丝工作状态。此外,国仪量子提供优质的售前和售后服务,可提供非标定制化服务。
目前,SEM钨灯丝扫描电子显微镜已经被中国航发北京航空材料研究院、西南政法大学司法鉴定中心、中科芯(苏州)微电子科技有限公司等单位采用。
应用案例:
(1)中科芯(苏州)微电子科技有限公司使用SEM钨灯丝扫描电子显微镜用于芯片表面形貌观察和失效分析。
(2)中国航发北京航空材料研究院使用SEM钨灯丝扫描电子显微镜进行航空航天等领域材料的失效分析、新型材料的研究等。
(3)西南政法大学司法鉴定中心使用SEM钨灯丝扫描电子显微镜来进行司法鉴定。
(4)佛山市天朋温控器有限公司使用SEM钨灯丝扫描电子显微镜用于观察并定位温控器失效位置,进行失效分析,进而改善制程,提高良率。
(5)深圳市南山外国语学校的老师带领学生使用SEM钨灯丝扫描电子显微镜参加微科研竞赛、青少年创新比赛等。
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