一、激光干涉仪的定义?
激光干涉仪是一种以激光波长为已知长度,利用迈克尔逊干涉原理测量位移的通用长度测量仪器。激光干涉仪一般使用氦氖激光,其光为红色,真空波长为.99nm。激光干涉仪分为单频和双频两种。
二、激光干涉仪的应用行业?高精度的磨床、镗床以及加工中心的定位系统中机床等设备上的应用;几何检测仪器,主要应用于检测仪器线性位移、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度的标定。三、双频激光干涉仪较单频而言有哪些优势?
相同点:都是以波长作为标准对被测长度行度量的仪器。
不同点:单频干涉仪最根本弱点是搞干扰能力弱,空气湍流、机床的油雾、切屑的干扰都会引起干涉信号变化从而影响测量精度,在测试环境恶劣,测量距离较长时,这一缺点十分突出。其原因在于它是一个直流测试系统必然具有直流光平和电平零漂弊端,这种无规律的变化很难通过系统的自动调整来补偿,限制了单频激光干涉仪在高精密测量领域的应用。
而双频激光干涉仪正好克服了这弱点。
在精度上,双频激光干涉仪以波长作为标准对被测长度行度量的仪器。即使不做细分也可达到μm量,细分后更可达到nm量。
应用范围广双频激光干涉仪除了可用于长度的测量外,测量角度、直线度、平面度、振动距离及速度等等,还可以分光行多路测量。
环境适应力强即使光强衰减90%,仍然可以得到有效的干涉信号。由于这点,双频激光干涉仪既可在恒温、恒湿、防震的计量室内检定量块、量杆、刻尺、微分校准器和坐标测量机,也可以在普通的车间内为大型的机床的刻度行标定。四、如何知道是单频还是双频?
单频干涉仪使用单频测量技术,性能指标中没有频差参数。双频干涉仪采用双频外差测量测量技术,性能指标中有双频频差参数(一般为1-20MHz)。五、如何选型?
1根据测量行程2根据系统测量能力(线性位移、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度)六、使用过程中需要注意的事项?
1、激光干涉仪必须定人保管,机加技术组人员专人专用,专人送检,他人不得随意动用,以防损坏,降低精度。
2、激光干涉仪要设置专库存放,环境要求干燥、通风、防震、防雾、防尘、防锈。仪器应保持干燥。各种仪器均不可受压、受冻、受潮或受高温,仪器箱不要靠近火炉或暖气管。
3、对激光干涉仪要小心轻放,避免强烈的冲击震动,安置仪器前应检查三脚架的牢固性,整个作业过程中工作人员不得离开仪器,防止意外发生。
4、激光干涉仪应避免在温度变化大、有风、潮湿环境下测量,此时检测结果将收到很大的影响。